超快激光精密加工

高端制造、半导体、航空航天和先进光电器件对材料加工提出了更高精度、更低损伤、更复杂三维结构以及更广材料适应性的要求。传统机械、热加工及长脉冲激光方法在微纳尺度加工中容易受到热影响区、加工精度和材料硬脆性等限制，难以满足先进器件的精密制造需求。

利用皮秒/飞秒激光超短脉冲和超高峰值功率特性，发展表面微纳结构、高深径比微孔、2.5D/三维复杂结构及硬脆材料精密加工技术；结合光场调控、多光束并行加工及加工过程优化，实现玻璃、SiC、金刚石、蓝宝石等材料的高效率、低损伤和高精度制造，并向微纳器件制造、热管理及先进封装等方向延伸。